KESCO、Pollen社製AI画像解析ソフト「Smart3」の国内販売を開始―半導体業界の歩留まり向上を支援

Pollen Metrologyが開発した「Smart3」は、SEMやTEMなどの超微細画像に対してAIを活用した解析・プロセス制御を可能とするモジュール型・オープン型・協調型の次世代ソフトウェアである。ノーコード環境でのAI組み込みや業務フローの自動化を実現し、従来の10倍以上の効率化が期待される。KESCOは本ソフトウェアの日本国内における販売と技術支援を担う。

Smart3は中核プラットフォーム「SmartOEM3」上に構築されており、以下3つのモジュールで構成される。

• SmartMET3：SEMやTEM画像を対象としたナノスケール画像解析支援モジュール
• SmartDEF3：ウエハ検査における欠陥検出・分類・トレンド分析モジュール
• SmartYIELD3：製造歩留まり向上のための最適化・統計解析モジュール

製造装置へのAIプロセス監視機能としての組み込みも可能であり、リアルタイムにマルチモーダルデータを活用する高度なプロセス制御を実現する。