名古屋大学、半導体の製造プロセスを”一気通貫”で最適化するプラットフォームを構築

メタファクトリーにより、従来は各企業が個別に行っていた工程ごとの最適化を、機密性の高い情報を共有した上で横断的に実施することが可能となった。
本手法は、従来のシミュレーションに基づく最適化と比較して、必要な時間を約1/1000に短縮する成果を上げている。
本成果は、企業横断での最適化の必要性を実証するものであり、CISのみならずさまざまな半導体材料・デバイスに共通して展開可能な方法である。