東京エレクトロン デバイス 異常判別プログラムを IoT向けに自動生成

東京エレクトロン デバイスは、IoT向けに時系列データから装置の異常判別プログラムを自動生成する専用マシン「CX-M」を開発し、11月28日から発売した。価格は年間使用料込みで99万5000円、2年目以降は年間使用料72万円。今後3年間で5億円の販売を見込む。

新製品は、時系列データを入力すると「データクレンジング」「特徴の抽出」「機械学習による判別モデル作成」「判別精度検証」を独自ソフトウェアで行い、異常判別プログラムを自動で生成する。ユーザーはデータ解析技術の知識がなくても、正常時と異常時の時系列データを用意するだけで自社基準の異常判別プログラムを生成できるうえ、出力が可能なため、クラウド上や自社のシステムに組み込むなど、任意の環境で利用できる。

また、内部でのデータ分析内容が確認できるため、入力データ量やデータクレンジングに依存する判別精度を数値化することが可能。判別精度から予防保全効果を予測できるため、ROIを考慮したIoT導入を検討することができる。

そのほか、現場で動作させるアプリケーションを生成する同社の「ノンプログラミング開発クラウドConnexon」を併用すると、機械学習により異常判別プログラムの判別精度が向上した時にも簡単にアプリケーション化することができ、システム開発時間やコスト削減が可能となる。

出典：東京エレクトロン デバイス IoT向け 異常判別プログラム自動生成マシン「CX-M」の販売を開始

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