この記事の内容をまとめると… 東京エレクトロン九州における新開発棟（名称：プロセス開発棟）の完成と竣工式 コータ／デベロッパ、洗浄装置、ウェーハボンダーをはじめとする3次元実装向け装置の開発・製造 プロセス開発棟における...