この記事の内容をまとめると… 堀場エステックが超薄型マスフローコントローラー「DZ-107」を発売 10mm幅の薄さを維持しながらクラス最大水準の大流量化を実現 成膜プロセスへの対応力向上、EtherCAT通信対応など製...