この記事の内容をまとめると… 電子顕微鏡装置向けのプラズマクリーナーを開発・事業化 特許技術により安定したクリーニングが可能 県の補助金や技術指導等により事業化を支援 半導体デバイス等の製造プロセスで使用される電子顕微鏡...