半導体製造工程の中で、ウエハー上への金属膜の形成やエッチングによるそれらのパターニングにプラズマはなくてはならない技術です。 このプラズマを均一に発生させるためには、気体分子の障害が少ない高真空の環境が必要となります。 ...

2017年9月6日〜8日にパシフィコ横浜で開催された「VACUUM2017 真空展」。 半導体、FPD、電気電子分野だけではなく、医療機器や分析機器、さらには、最近注目を集めている新エネルギー分野や環境関連分野にも密接に...