この記事の内容をまとめると… 半導体製造装置（縦型炉）向けの新型免震台の受注を開始 中小地震から大地震まで対応可能な新機構を搭載 縦型炉の仕様に合わせた柔軟な設計や3種類の支承ユニットを展開 半導体製造装置（縦型炉）向け...