半導体製造工程の中で、ウエハー上への金属膜の形成やエッチングによるそれらのパターニングにプラズマはなくてはならない技術です。 このプラズマを均一に発生させるためには、気体分子の障害が少ない高真空の環境が必要となります。 ...

なぜ、お手頃のロータリーポンプが高真空まで至らないのでしょう 私たちは色々な面で真空ということと振り合っています。様々な業界で低真空から超高真空までが使用されています。ちなみに、大気圧より低い圧力はすべて真空と呼ばれます...