この記事の内容をまとめると… 2nm世代以降の先端半導体向けエッチングガス「CEG® 39A」の量産を開始 GAA構造対応、既存ガス比5倍以上の選択比と2倍以上の加工速度を実現 GWPゼロ・PFASフリーにより環境負荷を...