この記事の内容をまとめると… 300mmウエハー上で100％のダイオーバーレイ測定、スループット最大15倍 ウエハー全体最大2800カ所を約4分で測定（全ダイの位置情報取得）／2層同時計測に対応 測定結果をホストへフィー...