この記事の内容をまとめると… 高解像・高精度なダイレクト露光装置の開発 微細めっき配線形成の適用性実証 510×515 mm全面で0.5 μmの位置合わせ精度を達成 株式会社オーク製作所は、フォトマスクを使用せず半導体基...