半径3μmでシリコン光導波路を曲げる技術 (竹本達哉,[EE Times Japan])
産業技術総合研究所(以下、産総研)は2016年1月28日、シリコン光配線の先端を曲げて垂直方向に立体湾曲させる技術を開発したと発表した。曲げ半径は、数マイクロメートルと小さい点が特長。シリコン光回路のウエハー面に対し垂…
半径3μmでシリコン光導波路を曲げる技術 (竹本達哉,[EE Time...
産業技術総合研究所(以下、産総研)は2016年1月28日、シリコン光配線の先端を曲げて垂直方向に立体湾曲させる技術を開発したと発表した。曲げ半径は、数マイクロメートルと小さい点が特長。シリコン光回路のウエハー面に対し垂…