東レエンジニアリング、ガラス基板対応の高精度半導体実装装置「UC500...

東レエンジニアリング、ガラス基板対応の高精度半導体実装装置「UC5000」を販売開始

この記事の内容をまとめると…

  • 東レエンジニアリングが「UC5000」の本格販売を2025年4月より開始
  • ±0.8μmの高精度な熱圧着(TCB)実装を実現し、大型ガラスパネルに対応
  • パネルレベルパッケージの普及を促進するライン構成が可能

東レエンジニアリング株式会社は、パネルレベルパッケージ対応の実装装置「UC5000」の本格販売を2025年4月より開始する。大型ガラスパネルに対応し、±0.8μmの高精度な熱圧着(TCB)実装を実現する本装置は、次世代半導体パッケージ製造への対応力を高める装置として展開される。

UC5000詳細

「UC5000」は、SEMI規格に準拠した515mm×510mmおよび600mm×600mmのパネルに対応した熱圧着実装装置である。ガラスパネルに対しても高精度な実装を可能とし、従来課題とされてきた反りや熱膨張に対しては、同社が培ってきたTCB実装技術やパネル搬送技術、熱影響補正技術を基に対応している。また、基幹制御システムの完全リニューアルやSEMI規格対応FOUPへの対応も図られており、先端工場での量産にも適している。さらに、TRENG-PLPコーターや大型ガラス基板検査装置とあわせたラインナップで、パネルレベルパッケージのさらなる普及に寄与する構成となっている。

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