異種基板上成長のダイヤモンド結晶量子センサを開発―産総研、EV電池モニ...

異種基板上成長のダイヤモンド結晶量子センサを開発―産総研、EV電池モニタ向け高精度計測を実証―

この記事の内容をまとめると…

  • 異種基板上に成長させたダイヤモンド結晶による量子センサ開発に成功
  • 量子品質のダイヤモンド基板の大面積化と量子応用への期待
  • EV搭載電池モニタ向けに高精度電流計測を実証

東京科学大学工学院電気電子系の波多野睦子教授と岩崎孝之教授、産業技術総合研究所 先進パワーエレクトロニクス研究センターの牧野俊晴研究チーム長と加藤宙光上級主任研究員、および信越化学工業株式会社 精密機能材料研究所の野口仁主席研究員らで構成される文部科学省 光・量子飛躍フラッグシッププログラム(Q-LEAP)のグループは、異種基板上成長ダイヤモンド結晶による高感度量子センサ開発に成功した。量子センサに適した(111)結晶方位とコヒーレンス時間を備える量子品質のダイヤモンド結晶基板を10 mm径以上で作製し、ダイヤモンド量子センサとして高精度(10 mA)な電流計測の実証にも成功した。

ダイヤモンド結晶詳細

本研究では、異種(非ダイヤモンド)基板上にヘテロエピ成長技術を用いて、量子品質のダイヤモンド結晶層を形成することに成功した。これにより、従来の製造法で制約されていた基板サイズの課題を克服し、10 mm径以上の大面積結晶基板が得られた。さらに、ダイヤモンド結晶中のNVセンタにおけるコヒーレンス時間(T2)が20 μs以上を達成し、量子センサ応用が可能な品質であることを示した。

量子センサとしては、作製したダイヤモンド結晶基板を2 mm角に加工し、光ファイバー先端に実装、さらに精密アラインメント機構を備えたセンサホルダを開発した。これにより、測定対象上下にペア配置して差動動作させ、磁気シールドなしでも20 nT/√Hz以上の磁気感度を実現した。また、EV搭載電池モニタに必要とされる雑音耐性と高精度(10 mA)電流計測を実証した。

その他

今後は、文科省 光・量子飛躍フラッグシッププログラム(Q-LEAP)「固体量子センサの高度制御による革新的センサシステムの創出」にて、さらに医療応用としては大型のシールド設備や冷凍機無しに適用可能なこと、エネルギーデバイス応用では自動車等の車両に搭載可能にすることを目指し、社会実装を推進する。またQST/SIP連携により発足した固体量子センサコンソーシアムにより、参加企業への技術普及を加速。

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