セントラル硝子、2nm代以降の先端半導体向けエッチングガス「CEG® 39A」の量産開始

CEG® 39Aは、2nm世代以降の「Gate All Around（GAA）」トランジスタ構造に適応したエッチングガスである。既存ガスに比べて5倍以上の選択比を有し、加工精度制御に優れているほか、2倍以上の加工速度を実現している。また、地球温暖化係数（GWP）がゼロであり、PFASフリーのため、環境負荷の大幅な低減が可能となっている。