パーティクルラボ、レーザー不使用でサブミクロン異物を可視化する新光源を開発

本製品は、レーザーを照射せずにサブミクロンサイズの微粒子を観察できる新しい光源技術を用いている。レーザー安全規格の制約を受けず、現場への導入が容易である。また、ファイバー長3mの照射ユニットと30×35×35mmの小型カメラユニットを組み合わせることで、装置内部の壁面に直接取り付けることも可能である。

さらに、パートナー企業の高輝度光源を微細粒子観察用に改良し、独自の画像計測技術と融合。粗大粒子から0.1μまでの微粒子を高解像度で撮影可能なシステムを完成させた。浮遊する異物だけでなく、付着・堆積する異物まで視認できるため、発塵、浮遊、付着という異物汚染の三段階すべてを捉えることができるのが特長である。