半導体製造工程向けに高精度制御を実現する「高性能温湿調機」を朝日工業社...

半導体製造工程向けに高精度制御を実現する「高性能温湿調機」を朝日工業社がリリース

この記事の内容をまとめると…

  • 株式会社朝日工業社が「高性能温湿調機」をリリース
  • 温度制御±0.05℃、湿度制御±0.5%RHの高精度制御を実現
  • 半導体製造工程用環境装置として2024年より納品開始

同社は、精密空調機「ASCシリーズ」の上位モデルとして、「高性能温湿調機」を新たにリリースした。温度制御±0.05℃、湿度制御±0.5%RHという高精度制御が可能となり、半導体製造工程などでの安定的な製造を支える。

高性能温湿調機詳細

本製品は、これまでの「ASCシリーズ」が実現していた温度制御±0.5℃をさらに高精度化し、±0.05℃の温度制御と±0.5%RHの湿度制御を可能とした上位モデルである。FPDや半導体などの製造工程では、温度・湿度・清浄度の精密制御が必要とされており、本製品はそれに対応する環境装置として受注されている。2024年より納品を開始しており、今後の販売拡大が見込まれている。

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