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THK、半導体縦型炉向け新型免震台の受注開始 二段階機構で中小〜大地震に対応
この記事の内容をまとめると…
- 半導体製造装置（縦型炉）向けの新型免震台の受注を開始
- 中小地震から大地震まで対応可能な新機構を搭載
- 縦型炉の仕様に合わせた柔軟な設計や3種類の支承ユニットを展開
半導体製造装置（縦型炉）向けの地震対策として、THK株式会社は新たに開発した「縦型炉用新型免震台」の受注を2024年10月より開始した。中小地震（震度3〜5弱）におけるウェハーの欠陥低減と、大地震（震度5強）時の本体および石英パーツの保全を両立する新機構を備える。
縦型炉用新型免震台詳細
本製品は、地震の揺れの大きさに応じて異なる免震性能を発揮する二段階可動方式を採用しており、従来の免震台よりも低い加速度で起動する特徴を有する。これにより、地震発生後の生産再開期間の短縮に貢献する。
縦型炉の荷重に対応する支承ユニットは鋼製フレームとプレートで連結され、装置仕様に応じた柔軟な設計が可能。支承ユニットは、減衰・復元機構や免震性能切替機構の有無により3種類が用意されており、最適な構成の免震台を実現できる。
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