産総研、基準球面レンズの表面形状を高精度に校正

　産総研の研究チームは、不確かさ4.3 nmで基準球面レンズの球面度を高精度に校正可能な技術を開発した。この技術により、産業界で使用される基準球面レンズの校正が簡便かつ高精度に行えるようになり、光学素子（※3）の高精度化や製品の品質管理の高度化に寄与する。
（※3）光学素子
　光学機器や光学系を構成する個々の要素。レンズ・プリズム・反射鏡・フィルター・回折格子などを指す。

　スマートフォンや内視鏡などに搭載されるカメラには、小型で高精細な画像を得るための高精度な光学素子が必要である。これを実現するために、表面の凹凸をナノレベルに低減し、絶対形状を設計形状とナノレベルで一致させる必要がある。そのため、加工された表面形状を正確に測定し、設計形状からのずれを評価する技術が重要となる。

　基準球面レンズは、高い球面度をもつ参照面として、高精度な形状測定装置の中核を担う。本研究では、レーザー干渉計を用いた球面度校正装置において、ランダムボール法という実用的手法により、任意のFナンバーに対応する基準球面レンズを簡便に校正するシステムを確立した。さらに、光学系調整時のエラー（ミスアライメント）による測定誤差を解析し、不確かさの評価法を確立したことにより、不確かさ4.3 nmという高精度で校正が可能となった。

この技術は、基準球面レンズの校正体系を通じて産業界に展開され、光学素子の開発や製品の品質管理を高度化する技術基盤となる。