東亜電子機材、電子顕微鏡向け「プラズマクリーナー」を事業化　特許技術で安定除去を実現

この装置は、特許を取得したガス流量調整パイプとプラズマ着火方法を用いた独自技術により、観察室内壁および装置内部品の表面に対して安定したクリーニングを可能としている。プラズマプロセスの変動を抑え、容易な着火方法により、ワンボタン操作でクリーニングの全工程を実施できる。さらに、高性能かつ比較的安価な装置として提供可能である。