新東工業、±0.1μm精度で保護膜越し測定が可能な精密高さ測定機「PHM-400」を発売

「PHM-400」は、3Dセンサーと膜厚センサーのデュアルセンサーを搭載し、ドライフィルムレジストなどの保護膜越しに±0.1μm以下の精度で溝・エンボスの高さを測定できる。従来の測定方法では困難であったΦ300mm以上の大型製品にも対応可能である。

本機は、自動XYステージにより測定工程の自動化を実現し、手作業での測定や保護膜の再貼り付けに要していた作業時間を削減することで、製品の仕上がり品質の安定にも寄与する。

従来では、溝・エンボスの形成後に一度保護膜を剥がして測定し、加工量が足りなければ保護膜の再貼り付け後に再加工を行う必要があったが、「PHM-400」ではこの工程が不要となる。その結果、測定作業時間を1/9〜1/3に短縮し、再貼り付けによる保護膜ズレによる加工不良も防止できる。

同社は、露光、現像、ブラストまたはエッチング、洗浄といった一連の加工技術・装置に「PHM-400」を加えることで、半導体関連部品製造工程におけるラインアップを強化する方針である。