堀場エステック、超薄型マスフローコントローラー「DZ-107」発売（10mm幅で大流量20SLMを実現）

「DZ-107」は、わずか10mm幅の薄さを保ちながら、フルスケール流量を従来の3SLMから20SLMへと約7倍に向上させた。新たに開発した制御バルブを採用し、CVDやALDといった成膜技術における大流量ガス制御にも幅広く対応可能となった。

また、使用温度範囲の上限を従来の45℃から60℃に引き上げることで、より多様なガス種への対応を実現。エッチング・成膜プロセスの高度化にも貢献する仕様となっている。

さらに、EtherCAT通信への対応により、リアルタイム性と高精度な同期制御が可能になったほか、内部メモリーに各種ガスデータを搭載することで、PCを介さずにガス仕様変更が可能となり、運用の柔軟性が大幅に向上している。