“ダイシングソーメーカーだから”開発できた純水リサイクル装置 (庄司智...

“ダイシングソーメーカーだから”開発できた純水リサイクル装置 (庄司智昭,[EE Times Japan])

ダイシングソー用の純水リサイクル装置  半導体製造装置メーカーのディスコは2016年8月、ダイシングソー用の純水リサイクル装置「DWR1710」を、電子部品メーカーに初納入したと発表した。同装置は、ディスコが2008年か…


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