アルバック、半導体向け成膜装置「ENTRON-EXX」の受注開始　データ解析強化と拡張性で生産性向上

株式会社アルバックは、半導体向け成膜装置「ENTRON-EXX」の受注受付を開始した。本製品は、従来モデル「ENTRON-EX W300」の特長を継承しつつ、データ収集・解析能力を強化した次世代モデルである。

ENTRON-EXXは、高度化・複雑化する半導体製造工程のニーズに対応するために開発された。リアルタイムでの大量データ収集・解析により歩留まり改善や予防保全、作業効率の向上に貢献する。さらに、迅速なモジュール追加や置換が可能な設計により、変化するニーズにも柔軟に対応できる。

また、工場スペース効率の最大化を図るため、SingleとTandemの2種類のPlatformを提供。スペースに応じた装置レイアウトが可能で、スペースあたりの生産性向上が実現できる。