熱処理が変わる!産総研とチノー、1000℃でも高精度に測れる温度計を開...

熱処理が変わる!産総研とチノー、1000℃でも高精度に測れる温度計を開発

1000℃付近の高温域では通常、白金線を使ったセンサーが使われるが、抵抗値の不安定さや熱ひずみによって精度の高い温度測定は難しいとされている。そのため半導体製造や金属の表面処理など、燃焼や加熱、熱処理工程がある現場では、高温域でも精度良く測れる温度計が求められている。

今回、産総研とチノーは共同で、1000℃付近の高温域で高精度に温度測定ができる白金抵抗温度計を開発した。

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■ポイント
1000 ℃付近の高温域で高精度の温度測定が可能な白金抵抗温度計を開発
白金線の熱処理とセンサー構造を最適化することで実現
材料製造プロセスなど、高温域での温度測定・温度制御技術の向上に貢献

 今回、産総研らは、センサーの作製過程で白金線に適度な熱処理を加えると、1000 ℃付近の高温域でも抵抗値が安定することを発見。さらに、高温で白金線に生じる熱ひずみを低減できるセンサー構造を新たに考案した。これらにより、高温域でも、0.001 ℃レベルの精度で温度測定できる新たな白金抵抗温度計を開発した。今後、材料プロセスなど高温域での高精度な温度測定・温度制御の実現が期待される。

出典:1000 ℃付近の高温で使用できる高精度な温度計を開発


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