『油回転真空ポンプ』の記事一覧 : 1件

半導体製造工程の中で、ウエハー上への金属膜の形成やエッチングによるそれらのパターニングにプラズマはなくてはならない技術です。 このプラズマを均一に発生させるためには、気体分子の障害が少ない高真空の環境が必要となります。 ...