製造装置組み込み用の小型デジタルマスフローコントローラーを発売 ([M...

2016/11/1 IT media

製造装置組み込み用の小型デジタルマスフローコントローラーを発売 ([MONOist])

 アズビルは2016年6月6日、製造装置組み込み用の小型デジタルマスフローコントローラー「F4H」を発表した。同社独自の高感度流速センサー「マイクロフローセンサ」を採用し、0.3secの高速制御を可能にした。  F4Hは…


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