製造装置組み込み用の小型デジタルマスフローコントローラーを発売 ([MONOist])
アズビルは2016年6月6日、製造装置組み込み用の小型デジタルマスフローコントローラー「F4H」を発表した。同社独自の高感度流速センサー「マイクロフローセンサ」を採用し、0.3secの高速制御を可能にした。 F4Hは…
製造装置組み込み用の小型デジタルマスフローコントローラーを発売 ([M...
アズビルは2016年6月6日、製造装置組み込み用の小型デジタルマスフローコントローラー「F4H」を発表した。同社独自の高感度流速センサー「マイクロフローセンサ」を採用し、0.3secの高速制御を可能にした。 F4Hは…