目指せ製品化?! ZnO2（ジルコニア）棒を評価するお話。

ZnO2の棒　評価の概要

こんにちは、yonaです！今日は、私が入社して初めて、「評価」に携わったときの話をします。

テクダイヤには「射出成型機」という装置があります。射出成型を簡単に説明すると、材料を「溶かし」「金型に流し」「固める」成型方法です。

この射出成型機で成型したジルコニア棒。

配属から1か月。この棒を、他部署の先輩から託され「HCTのプロセスに導入できないか評価してほしい」と……。

わ、わたし……評価なんかできません！

なんて言っていられません！折角、任せて頂いたのだから、責任もって評価させていただきます！

託されたサンプルは、2回目の試作とのこと。1回目の試作では、持っただけで分かるほどの反りがあり、使用できないと判断されたそう。

評価基準は、以下2点に絞った。

• 反り
• 外観

反り(平行度)測定

反っていると、NG！の理由のひとつに、「露光」工程が挙げられます。反りが多いと、露光時にフォーカスが合わず、装置の停止や、エラーが発生に繋がります。

HCTでの反りの許容範囲は「10um」!!!外れてしまったらNGとなります。

デジタル顕微鏡を使用して、両端を結ぶ線を引きます。その線と並行になるように、反りの頂点である、1番高いところに平行線を引いて距離を測定します。

同様に、反りの少ない先端部分の測定をします。イメージとしては、このような感じです。

測定を行った結果、表のようになりました。

判定は、NG。

反りの許容は10umですが、今回測定したZnO2の棒は、30um以上ありました。

外観検査

製品を製作するに当たり、「外観」は重要項目です。

「Voidはないか」「エッジに欠けはないか」「クラックは入っていないか」など、製品によって、見るべきポイント違ってきます。

今回は、パターニングをすることを前提とした表面状態を確認しました。

A面の表面状態

B面の表面状態

写真で見てもわかるとおり、A面に比べ、B面のVoidが多く、B面は、50um以上のVoidが見られました。

テクダイヤの外観検査基準の中で、Voidは30um以下と定められているため外観検査もNGとなります。

結果

今回の評価では、

（1）反り（平行度）測定　→　NG

（2）外観　→　NG

となったため、HCTのプロセスに、このZnO2の棒を導入することはできない！と判断させていただきました。

もし、今、同じ評価をお願いされたら、自分の意見やアイデアもあったのかな？と思いながらブログを書いています……笑

テクダイヤでは、日々、いかに製品を安く作るか。内製でできるものはないのか。勉強しながら、技術開発に励んでいます!!

こんなこと、できませんか???こんなもの、あったらいいな!!!絶賛、募集中です★

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