レーザー照射で銅配線を形成、大気中で処理 (馬本隆綱,[EE Time...

レーザー照射で銅配線を形成、大気中で処理 (馬本隆綱,[EE Times Japan])

 芝浦工業大学 応用化学科の教授を務める大石知司氏は2016年3月、大気中で特定の銅錯体にレーザー光を当てるだけで、比較的簡単に微小な銅配線を形成できる技術を開発したと発表した。ディスプレイなどフレキシブルデバイスへの応…


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