ラインアンドスペース5μmのパターンできるけど、仕事の依頼がまだ来ない件

今回は私が所属している第5技術グループで開発しているものの説明を、少ししたいと思います。

私たちのグループは通称HCTと呼ばれ、ハイブリット・セラミック・テクノロジーという技術を開発・製造しています。

今回はその、技術のラインアンドスペースについて！

会社に入る前まで、私の中の長さの最小単位はmmでした。1mm以下は誤差のようなもの。そう感じていました。

ですがこの会社には入ってからというもの、１mm以下の単位が普通に会話に出てくるようになりました。

１μm＝0.001mmで、１nm=0.001μm

入社当初はなかなか単位になれず、困ったものです。

「えーと、ラインを測定しましたが、25mmでー」

「ええ!? ㎜!?」

「あ、いや、間違えました！えーと、0.025……いや25みくろんです!!　25みくろん！」

もう、何がいいたのかわからなくなりますね……

そして、HCTで作製可能なパターンの最小ラインアンドスペースは5µm/5µmです（Auめっきを行う場合は、めっき膜厚3μｍ以下の場合。3μｍ以上めっき行う場合のラインアンドスペース＝10µm/10µmです！）。

実際5µm/5µmで作製して欲しい、という会社は残念ながらまだないのですが笑

この写真は最近作成した最小パターン幅です。ラインアンドスペース＝25µm/25µm

目視だと、線と線が離れているようには見えないのですが、ちゃんと線になっています。

デジタル顕微鏡100倍

デジタル顕微鏡1000倍

パターンの細さ以外にも、Tan抵抗やスルーホール、Au/Snメタライズなんかもできます。

会社の中でも奥の奥にクリーンルームを構え、そこで実験しているのですが、社内でも人目に付きにくい場所で仕事をしているため、よくホントに仕事をしているのか!?

と社内で疑われています笑（お仕事してます感をもっと押し出さなくては…）

色々と加工できるので、何かありましたら、ぜひぜひHCTへご相談を！！

どこで活躍できるかはまだまだ未知数ですが、様々な場所で私たちが育てている子たちが活躍してくれたら……嬉しいです笑

自分たちで作っているものを擬人化するクセがあるガイカンミルルンなのでした！