マスクレス露光機…すごいぞDMD！

みなさんこんにちは、Damienです。早いもので入社して5ヶ月が経とうとしています。

前回のブログ「露光ってなに？」の中で私は露光機について触れました。今回は露光機についてもう少しだけ掘り下げてみようと思います。

マスクレス露光機

前回、私はTECDIAには2種類の露光機がある事をお話ししました。「マスク露光機」と「マスクレス露光機」です。

私がよく使うマスクレス露光機。というわけでマスクレス露光機についてお話します。（笑）

マスクを用いることなく微細なパターンを形成することができるのがマスクレス露光機です。マスク作成の時間とコストをカットすることができます。また、CADで図面を書き換えファイル変換を行えば設計変更にも対応可能です。

名前の通りマスクレス露光機はマスクを使用せず、レーザー光線の制御により露光を行います。そのレーザー光線の制御に用いられるのがDMD(デジタルマイクロミラーデバイス)です。マスクレス露光機はDMDを制御しパターンの投影を行っています。

DMD（デジタルマイクロミラーデバイス）ってなんだ！

DMDは、可動式の微細な鏡で形成されており、微細な鏡の角度をコントロールすることで光を反射し露光を行います。微細な鏡、つまりマイクロミラーが表示素子の1画素に相当し、鏡面サイズはおよそ10数μmです。

この10数μmの微細な鏡が数1000個搭載されていて光線をコントロール？10数μmの鏡？私には想像がつきません。。。

マスクレス露光機の仕組みをもっと知りたい！勉強せねば！

次回のブログまでにしっかりお勉強しておきます。。。

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